Raccords de tuyauterie pour gaz de semi-conducteurs pour systèmes de gaz de procédé à ultra haute pureté

Applications typiques de tuyauterie de gaz de procédé et de service pour semi-conducteurs

Les applications courantes incluent les collecteurs de distribution de gaz de service d'usine, les lignes de dérivation de gaz de procédé, les assemblages de collecteurs de vannes, les raccordements d'équipement et les segments de tuyauterie de support propre. Ces systèmes nécessitent souvent des composants en acier inoxydable de haute pureté et des pièces usinées avec précision pour garantir l'intégrité d'étanchéité et les exigences de contrôle de la contamination.

Dans de nombreux projets d'installations de semi-conducteurs, la sélection des composants est dictée par les attentes de propreté, la précision des interfaces et la traçabilité de la documentation autant que par la pression nominale. Un mauvais ajustement ou un état de surface incohérent peut augmenter les retouches et les retards de mise en service.

Interfaces de connexion courantes dans les systèmes de distribution de gaz d'usine

Les composants de gaz de procédé pour semi-conducteurs peuvent inclure des raccords de haute pureté, des raccords pour tubes en acier inoxydable, des adaptateurs usinés avec précision et des raccords forgés dans les lignes de service de support. Raccords en acier inoxydable agroalimentaire (le cas échéant) peuvent être utilisés dans des applications utilitaires propres sélectionnées ou des applications de support non-processus selon la conception du système.

Utilisez une disposition simplifiée de distribution de gaz de fabrication ici pour montrer où les raccords haute pureté, les raccords de tube, les composants usinés avec précision et les interfaces de gaz de procédé sont utilisés depuis l'en-tête d'utilité en vrac jusqu'aux zones de raccordement d'outil.