Компоненты трубопроводов высокой чистоты для полупроводниковых установок включают трубы, фитинги, клапаны, регуляторы, фильтры, коллекторы, сварные концы, интерфейсы для приборов и выбранные полимерные детали, используемые для перемещения массовых газов, специальных газов,